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材料科学专业英语词汇

抗蚀剂剥离液    resist stripper
抗蚀剂剥离系统    resist stripping system
抗蚀剂温度控制    resist temperature control
抗蚀剂热稳定性    resist thermal stability
抗蚀剂膜厚均质性    resist thickness uniformity
电阻加热炉    resistance heading furnace
电阻加热元件    resistance heating element
电阻加热真控蒸镀系统    resistance heating evaporation system
电阻加热法     resistance heating method
电阻系数    resistivity
解析度,析像清晰度    resolution
监别孔隙    resolving aperture
阻凑剂    retarder
标线片对准    reticle alignment
标线片遮帘    reticle blind
标线片固定器    reticle holder
标线片搭载器    reticle loader
标线旋转误差    reticle rotation error
标线片载物台    reticle stage
再利用设计    reusable design
逆向接合,逆向压接    reverse bonding
反向动作    reverse motion
逆向合成    reverse synthesis
旋转标痕    revolution mark
旋转速度建立时间    revolution speed set up time
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